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PlasmaPro 800 PECVD等離子增強化學氣相沉積PECVD
PlasmaPro 100 PECVD等離子增強化學氣相沉積PECVD
NEXDEPAE物理氣相沉積平臺
PlasmaPro 100 ICPCVD電感耦合等離子體化學氣相沉積ICPCVD
PlasmaPro 100 Polaris單晶圓刻蝕系統(tǒng)
PlasmaPro 100 Cobra ICP電感耦合等離子體刻蝕
ELIONIX-5超顯微壓痕硬度計
EIS-1500離子束刻蝕機
COVAP科瓦普物理氣相沉積平臺
EIS-200ERP離子束刻蝕機
MA200 Gen3掩模對準光刻機
IVG系列-全/半自動單/雙軸減薄機