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簡(jiǎn)要描述：WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。
產(chǎn)品型號(hào)：WE3102系列廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2025-06-05訪 問(wèn) 量： 721產(chǎn)品分類(lèi)
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1. 產(chǎn)品概述
WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。
2. 設(shè)備用途/原理
WE3102系列 12英寸槽式清洗設(shè)備，可配備 i-Clean 多藥液工藝槽，支持 DN unit, DIO3 等附屬功能。軟件量身定制，具備快速更新能力，較高的溫度控制穩(wěn)定性，超高的補(bǔ)水精度，精準(zhǔn)的蝕刻速率控制，優(yōu)秀的干燥效果。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 12 英寸，適用材料 光阻、單晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金屬膜、金屬氧化物。適用工藝 爐清洗、刻蝕 / 拋光后清洗、光阻去除、金屬氧化物去除、氮化物去除、控?fù)跗厥?/span>。適用域 新興應(yīng)用、集成電路。
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